Санитарные правила для производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем (утв. Заместителем Главного государственного санитарного врача СССР А.М.Скляровым 26 июня 1990 г. N 5181-90) Санитарные нормы и правила ( СанПиН, СП )